Que vous ayez besoin de mesurer des vapeurs de carburant à basse pression ou des gaz réfrigérants à des pressions plus élevées, vous pouvez compter sur la série TRVF. Il a été conçu pour fournir un rendement stable, même à des températures allant jusqu'à 150°C. L'une des deux puces en silicium MEMS possibles, la série HM ou la série J, est montée en haut du port de pression en céramique, permettant une pression arrière. Cette configuration isole le support de la céramique, du silicium et du matériau de liaison de puce. Un autre avantage de la liaison par puce au-dessus du port de pression en céramique est la possibilité de personnalisation basée sur les deux puces MEMS différentes.
Fonctionnalité
6.9 à 2,068 kPa



