HTSシリーズ

メディアとは？ 回答を表示

メディアは、センサーがさらされる環境です。 これは通常、何らかの形の空気、液体、または気体です。 一部のメディアは、センサーやその電子機器を損傷する可能性があります。

裏側の圧力とは何ですか？ 回答を表示

MEMSダイまたはチップの裏側は、ダイの薄い検出ダイアフラムを作成するためにキャビティがエッチングされた側です。 圧力は、センサーパッケージの圧力ポートを介してダイの裏側に到達します。 この設計により、RSシリーズは液体だけでなく気体や空気とも互換性があります。

絶対構成とゲージ構成の違いは何ですか？ 回答を表示

絶対配置、すなわち絶対圧力センサーでは、MEMSダイは圧力側の反対側に密閉されたキャビティで構成されています。 ただし、ゲージ構成では、密閉されたキャビティは存在しません。 したがって、ＭＥＭＳダイの一方の側は（例えば、液体からの）入ってくる圧力にさらされ、ＭＥＭＳダイのもう一方の側は大気圧にさらされる。