すべてのMEMS圧力センサーの中心には、MEMSシリコンダイがあります。 Merit Sensorは、独自のすべてを製造するウェーハファブを所有および運営しています。 MEMSダイ。 MEMSダイのパッケージングには、小さくて敏感なダイを処理し、繊細なワイヤボンディングを実行するための特殊な機器とスキルが必要です。 そのため、多くのお客様は、ダイがすでに取り付けられ、ワイヤボンディングされている圧力センサーパッケージを購入しています。 この記事では、メリットセンサーのXNUMX種類のパッケージについて説明します。 補償なし, 受動的に補償, 完全に補償.

補償なし

最も基本的な圧力センサーパッケージは補償されていません。 補償されていないパッケージでは、MEMSダイは、特殊なダイボンド材料を使用してセラミック基板に取り付けられ、セラミック上の電気トレースにワイヤボンディングされ、保護キャップまたはゲルで覆われています。 各シリコンダイは本質的に一意であるため、各シリコンダイの出力は一意になります。 幸いなことに、シリコンダイには非常に再現性の高い出力があります。 これは、出力を補正できることを意味します。

正確な出力を得るには、顧客はある程度の補償を行う必要があります。 特定のアプリケーションは、顧客が実行する補償に役立ちます。 補償がメリットセンサーによって実行されるのか、顧客によって実行されるのかを決定する要因には、次のものがあります。

• 費用
• 正確さ
• サイズ
• 出力信号

受動的に補償

特に室温で使用するための、よりすぐに使用できる圧力センサーパッケージのバージョンは、パッシブ補正を備えたものです。 この場合、圧力センサーパッケージは基本的に補償されていないパッケージと同じです。 ただし、セラミック基板上の厚膜抵抗器はレーザートリミングされており、10°C〜40°Cの動作温度でのダイの出力を適切に補正します。

病室での侵襲的な血圧モニタリングなどのアプリケーションでは、この温度範囲での補正で十分です。 パッシブ補償のその他の利点は、マイクロ秒単位の実質的に無限の分解能と周波数応答時間を備えた純粋なアナログ信号です。

完全に補償された

完全に補償された圧力センサーパッケージでは、信号調整（オンボードASIC）を使用して、広い温度範囲にわたってダイの出力を補償します。 MEMSシリコンダイは圧力と温度の違いを認識しないため、このレベルの補償は、センシング環境の温度が大幅に変動したり、極端な高低に達したりするアプリケーションでは特に重要です。 信号調整による補償により、線形出力が提供され、-1°C〜1°Cの動作温度でフルスケール出力の±40％（±150％FSの合計エラー帯域）の精度で出力を行うことができます。

たとえば、飛行機の燃料ポンプや車両の燃料レールを使用する場合、圧力センサーは極端な温度にさらされるのが一般的です。 それにもかかわらず、これらの圧力センサーが正確な出力を提供することが不可欠です。 完全に補正された圧力センサーが適切な解決策になります。

それぞれがMEMSダイに固有の固有の出力を持つため、各圧力センサーには個別の補正が必要であることを強調することが重要です。 多くの顧客は、組立ラインを通過する各ユニットに対してこれをロジスティックまたは経済的に行うための時間や設備を持っていません。

メリットセンサーには、お客様にとってこの必要なステップを処理するための経験と設備があります。 さらに、常にではありませんが、多くの場合、部品が施設を離れる前に補償を行うことは理にかなっています。 それにもかかわらず、私たちは自分で補償を行うことを選択した顧客のためにオプションを残しました。 いつものように、 セールスマネージャーと技術チーム 関連する質問に喜んでお答えします。