TRVFシリーズ

低圧で燃料蒸気を測定する必要がある場合でも、高圧で冷媒ガスを測定する必要がある場合でも、TRVF シリーズを信頼できます。 150℃までの温度でも安定した出力が得られるように設計されています。 XNUMX つの可能な MEMS シリコン ダイ (HM シリーズまたは J シリーズ) のうちの XNUMX つがセラミック圧力ポートの上部に取り付けられており、背面から圧力を加えることができます。 この構成により、メディアがセラミック、シリコン、ダイボンド材料から隔離されます。 セラミック圧力ポート上部のダイボンドのもう XNUMX つの利点は、XNUMX つの異なる MEMS ダイに基づいてカスタマイズできることです。