Merit Sensor ha sido propietario y ha operado una fábrica de obleas desde sus inicios. La fabricación de nuestros propios elementos de detección MEMS (sistemas microelectromecánicos), o dados, es algo que nos diferencia de otros fabricantes de sensores de presión, muchos de los cuales obtienen sus dados MEMS de fundiciones o proveedores. Producir nuestras propias obleas, que se dividen en elementos de detección MEMS individuales, nos permite controlar nuestras propias tecnologías, desarrollo y cadena de suministro. Para saber más sobre las ventajas, lee esto Entrevista con AZoSensores con nuestro director de ingeniería.

Dado que seguimos viendo interés en todo el mundo por estos elementos de detección de MEMS, seguimos desarrollando troqueles de MEMS con un rendimiento superior a un costo competitivo. Nuestro producto MEMS más nuevo en el mercado es el Serie s, que ofrece tamaño, sensibilidad y estabilidad óptimos. Quizás lo mejor de todo es su excelente desempeño en cuanto a histéresis térmica. Cada una de estas características se discutirá a continuación.

Tamaño

Una característica notable de la Serie S es su sólido rendimiento en un tamaño muy pequeño: 1.5 mm x 1.5 mm x 0.9 mm. Este tamaño también permite optimizar la cantidad de matriz producida en cada oblea de 150 mm (6 pulgadas). El resultado final es un troquel de menor costo para el cliente sin pérdida de rendimiento superior.

Sensibilidad

El silicio, que es la materia prima de las obleas MEMS, tiene propiedades piezorresistivas, lo que significa que cuando se aplica presión, se tensa y su resistencia cambia en consecuencia. Una salida se basa en los cambios en la resistencia. Usos del sensor de mérito puente de Wheatstone tecnología para optimizar la linealidad de la salida. Sin embargo, es un desafío obtener un rendimiento adecuado cuando la presión es baja. Sin embargo, a través de la tecnología patentada MeritUltra de Merit Sensor, la serie S proporciona una salida típica de 5 psi/34 kPa/345 mbar de 100 milivoltios (mV).

Estabilidad

Una parte estable seguirá siendo precisa, es decir, no se desviará con el tiempo y la temperatura sostenida. La hoja de datos de la serie S especifica una estabilidad a largo plazo de ± 0.2 % de la salida de escala completa (% FSO). El gráfico a continuación muestra cuán estable y precisa ha demostrado ser la pieza, demostrando una deriva de compensación típica de <0.05 % FSO a las 300 horas.

Histéresis Térmica

La característica de la que realmente estamos hablando aquí, una vez más, es la precisión. Además de mantener la precisión a lo largo del tiempo y la temperatura sostenida, la serie S muestra una precisión excepcional cuando se expone a ciclos térmicos. Un elemento sensor MEMS es inherentemente sensible a la temperatura. Su resistencia y salida cambiarán cuando cambie la temperatura. Afortunadamente, los cambios que son consistentes son fáciles de compensar. El troquel de la serie S muestra un resultado muy consistente y preciso cuando se expone a temperaturas extremas y se vuelve a poner a temperatura ambiente. En las pruebas de ciclos térmicos, demostró una compensación de histéresis térmica típica de <0.05 % FSO.

Si tiene alguna pregunta sobre el uso de la Serie S en su aplicación, contacte uno de nuestros gerentes de ventas. También puede encontrar la nota de aplicación “Manejo del montaje de matriz de presión" útil.