MEMS圧力センサーの校正の価値

センサーは、腎臓透析システムで大きな役割を果たします。 画像著作権: Aleksandr Ivasenko/Shutterstock.com

測定ツールの価値は、その精度に依存します。 センサーなどの測定デバイスは、自動車、ヘルスケア、および産業環境のいたるところに見られます。 これらのアプリケーションの多くでは、品質管理を確実にし、患者の安全を保証するために、センサーが正確であることが必要です。

一方、 ピエゾ抵抗圧力センサー、これは、応答が速く、頑丈で、測定範囲が広いため、一般的な選択肢です。温度の変化は圧力出力に影響し、最終的には精度に影響します。 しかし、ウェーハ内の色素が均一である限り、温度に関連するエラーを修正または補正することができます。

圧力センサーの補正には、パッシブとアクティブの XNUMX つの一般的な方法があります。 パッシブ補償は、製造中に抵抗器をトリミングすることによって完成します。 センサーが小さな温度変化を経験する環境に適しています。 より困難な温度変化の場合、アクティブ補償はオンボード回路またはマイクロコントローラを利用します。

これは、圧力センサーのすぐ周囲の温度が温度センサーによって定期的に測定される場所です。 次に、それをオンボード回路に移動して、オフセットとも呼ばれる温度関連のエラーを修正します。 これにより、ほぼゼロの温度誤差とより広い動作範囲が可能になり、高品質の圧力センサーにとって魅力的な品質になります。

自分で校正するか、校正済みを購入する

センサーキャリブレーション 1 つの可能なオプションがあります。2) 製造ラインのセンサーは、圧力センサーの顧客によって校正されます。または XNUMX) 圧力センサーの製造元が完全に補正します。 事前に校正されたセンサーは、お客様が統合します。

圧力センサーの顧客が独自のセンサーを校正する理由はいくつかあります。 理由の XNUMX つは、ボード マウント可能なパーツなど、最終製品に既にマイクロコントローラーが含まれている可能性があることです。 このような状況では、アクティブなキャリブレーションをマイクロコントローラーで完了することができます。

顧客は、センサーに大きなストレスがかかるセンサーのパッケージング/ハウジング プロセスを使用している場合もあります。 これが発生すると、すでに校正されている圧力センサーは、応力を誘発するパッケージング プロセスを通じて追加の圧力を記録します。 圧力が上昇すると、新しいゼロ点が導入されます。

顧客が自分でキャリブレーションを行うことの欠点の XNUMX つは、インライン キャリブレーションの実行が困難であり、非常に混乱を招く可能性があることです。 もう XNUMX つの問題は、校正済みのセンサーを購入する方が、専用の機器と専門知識を必要とするインライン校正を取得するよりも費用がかからないことです。

すべての欠点の中で最も重要なのは、顧客が自分でキャリブレーションを行う場合、キャリブレーションに時間がかかることです。 各センサーには個別のキャリブレーションが必要なため、質量キャリブレーションは実行できません。 さらに、キャリブレーションに必要な温度範囲は、機器が必要な極端な温度に達するまでに長い時間がかかることを意味します。

Merit Sensor のようなメーカーから完全に補償された圧力センサーを購入すると、補償されていないセンサーに比べて高価になります。 ただし、これを、部品を社内で校正した場合のコストと比較検討することが重要です。 時は金なり。

製造元から完全に補償された部品を購入することは、較正された部品を必要に応じてラインに差し込むだけで済むため、較正の問題に関連する時間とコストの一部を削減する方法です。

これは、製品をより迅速に生産に移行したい企業、特にインライン校正を行うための設備、スキル、およびプロセス フローを持っていない企業にとって理想的です。 多くの場合、独自の校正専門家、ツール、および校正を行うための専門知識を持っている圧力センサー メーカーにとって、それは理にかなっています。

カスタム センシング ソリューション

LP シリーズは、超低圧用途向けに Merit Sensor が提供するさまざまな圧力センサーの XNUMX つです。 このタイプのセンサーは、非腐食性ガスでの使用に適しているため、持続気道陽圧 (CPAP) マシンなどのアプリケーションに最適です。 LP シリーズは、事前に校正されたオプションを提供します。これは、圧力センサーが医療用にすぐにアクセスできることを意味します。 また、空気ろ過システムや医療における肺活量測定などの産業用途にも適しています。

Merit Sensor は、低圧から中圧を必要とする用途向けに PMD シリーズを提供しています。 PMDシリーズは、空気やその他の非腐食性液体での使用に適しています。 また、差圧、絶対圧、真空圧の測定も可能です。 このシリーズは、プリンターのインク レベル監視に最適な圧力センサーで、0.34 ~ 3.5 bar の圧力範囲で動作します。 このアプリケーションでは、外部マイクロプロセッサを使用するため、キャリブレーションは迅速かつ簡単です。 これは、補償されていない PMD シリーズが実際に人気のあるオプションであることを意味します。

一方、TVCシリーズは、高温油などの過酷な媒体操作に適しています。 このセンサは、媒体耐性が高いため、自動車産業にとって優れた選択肢です。 デバイスのラジアル シーリングは、最小限の応力導入でモジュール レベルで統合できることを意味します。

TVCシリーズ完全補償圧力センサー

TVCシリーズ

完全に補償されたセンサーは、自動車メーカーが幅広い温度範囲で時間のかかるキャリブレーションを製造プロセスに統合する必要がなくなるため、自動車アプリケーションで広く好まれています。

過去 25 年間、メリット センサーは、ピエゾ抵抗圧力センサーを専門とする多くの経験を積んできました。 用途に圧力センサーが必要なお客様に最適です。 幅広いアプリケーションに対応する標準およびカスタム ソリューションを提供します。 Merit Sensor は、補償なし、狭い温度範囲で使用するための受動補償、または広い温度範囲で使用するための完全補償のいずれかのコンポーネントを提供することもできます。

Merit Sensor は、お客様がどのソリューションを使用するのが最も適切かわからない場合に役立ちます。 Merit Sensor のすべての製品には、顧客の製品を市場に投入するための柔軟で革新的なソリューションを見つけるために、時間通りに、個人的に、訓練されたサポートが提供されます。

詳細については、次の記事を参照してください。 AZOSensors.com