RSHシリーズは、MEMSダイオンプレッシャーポート設計により、ウェットメディアや過酷なメディアと互換性があります。 この設計により、メディアはMEMSシリコンダイの裏側とKovarまたはセラミック圧力ポートの内側に分離されます。 RSHシリーズは、幅広い温度および圧力範囲に対応する優れた圧力センサーです。 さらに良いことに、完全に補正された圧力センサーパッケージよりも低コストで入手できるため、独自の補正方法を知っている、または行うことを好む顧客に最適です。
特徴
Merit Sensorのエンジニアリングチームによるアプリケーションごとのベース)
用途例
関連画像と情報
よくある質問
メディアとは?回答を表示
メディアは、センサーがさらされる環境です。 これは通常、何らかの形の空気、液体、または気体です。 一部のメディアは、センサーやその電子機器を損傷する可能性があります。
裏側の圧力とは何ですか?回答を表示
MEMSシリコンダイの裏側は、ダイの薄い検出ダイアフラムを作成するためにキャビティがエッチングされた側です。 圧力は、センサーパッケージの圧力ポートを介してダイの裏側に到達します。
絶対構成とゲージ構成の違いは何ですか?回答を表示
絶対配置、すなわち絶対圧力センサーでは、MEMSダイは圧力側の反対側に密閉されたキャビティを備えて構成されています。 ただし、ゲージ(スペルゲージ)構成では、密閉された空洞は存在しません。 したがって、MEMSダイの一方の側は(例えば、液体からの)入ってくる圧力にさらされ、MEMSダイのもう一方の側は大気圧にさらされる。