使用 S 系列模具增强压力传感器性能

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压力传感器能够精确测量压力。 它将施加的压力转换为电信号，可分为主动或被动压力测量装置。

各种设计的 压力传感器 是否可用取决于是否需要绝对或相对压力测量。

压力传感器最初是为了测量最小的压力变化而开发的，通过引入薄膜、硅和石英设备，压力传感器在 1960 世纪 70 年代和 XNUMX 年代获得了广泛的商业应用。 这使它们成为测量低压和高压的流行选择。1

压力传感器包括两个主要组件：压力敏感器件和将器件变化转换为电信号的转换元件。

压力传感器存在多种设计，利用应变仪位移或膜运动等方法。 设计选择取决于需要测量的压力范围。

压力传感器如何工作？

压力传感器测量静态或动态压力，具体取决于被测物体是静止的还是受到施加的力。2

压阻应变计通常用于测量静压。

这些压力表连接到隔膜上，隔膜在压力下变形，导致电阻变化，从而提供可测量的电信号。 使用电路配置将电阻的变化转换为可测量的电压。

对于紧凑型压力传感器， 微电化学系统 使用（MEMS）器件。

基于 MEMS 的压力传感器的工作原理与其较大的压力传感器相似，其中传感介质的变形会产生电信号。 然而，MEMS 设备要小得多，并且对微小的压力变化也更敏感。3

对于无人机 (UAV) 环境监测等远程应用，MEMS 传感器具有低功耗和轻型结构等优势。4

优点传感器 S 系列

Merit Sensor 开发的 S 系列是一项卓越的传感器开发和制造成就。 这些 MEMS 硅压力模具采用薄而灵活的隔膜作为其传感介质。

由压力引起的隔膜偏转会改变两块板之间的电容。 这种变化可以转换成电信号以提供压力读数。

为了在压力传感方面提供无与伦比的性能、准确性和可靠性，S 系列采用了 Merit Sensor 的尖端 MeritUltra™ 技术。 这些模具设计用于在 5 至 300 psi 的各种压力下有效运行，使其适合各种应用。

通过采用 MeritUltra™ 技术，S 系列模具可提供 40 °C 至 150 °C 的令人印象深刻的工作温度范围，而不会影响性能。

S 系列模具的卓越精度使设计人员能够实现优于满量程 0.1% 的精度，使其适合最苛刻的高精度应用。 S 系列有带玻璃和不带玻璃两种选择。

Merit Sensor 的 S 系列 MEMS 传感元件 JPG 文件

无与伦比的准确性和可靠性

高质量校准是压力传感的关键因素。 要将隔膜的运动精确地转化为有意义的压力值，就必须全面表征响应施加压力的电阻变化。

为了确保这一点，每 S系列模具 在美国犹他州南乔丹的 Merit Sensor Systems 晶圆厂建造时，进行了晶圆级电气测试。 可以通过将芯片安装到电路板上并结合必要的信号放大电子器件来封装芯片。

采用了广泛而严格的测试和校准程序，确保模具准备好立即提供可靠的测量。

S 系列模具的坚固性、可靠性和出色的技术性能使其成为许多工程师构建压力传感器时的首选。

它们与各种环境条件的兼容性、出色的灵敏度和紧凑的占地面积使其成为众多应用的理想选择，包括工业、汽车和医疗领域，这些领域的组件必须满足有关可靠性和性能的额外监管要求。

无论客户需要用于航空航天、汽车、医疗设备工程还是任何其他应用的压力传感器，联系 Merit Sensor Systems 都将使他们能够探索将其最先进的压力模具融入其设备的好处，从而提高了可靠性和性能。

在 Merit Sensor 经验丰富的专业团队的支持和专家支持下，客户可以获得高测量可靠性、全面的售前和售后支持以及专家的技术建议。

参考资料和进一步阅读

  1. 米德尔霍克，S.（2000）。 庆祝第十届换能器大会：换能器研发的过去、现在和未来。 传感器和执行器，82，2-23。 https://doi.org/10.1016/S0924-4247(99)00395-7
  2. 比恩，VE（1994）。 动态压力计量。 计量学，30, 737。 https://doi.org/10.1088/0026-1394/30/6/037
  3. 亚当斯 (TM) 和莱顿 (RA) (2010)。 MEMS 制造和应用介绍。 https://doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0
  4. Jang, JS 和 Liccardo, D. (2006)。 使用低成本 MEMS 传感器和嵌入式计算平台实现小型无人机自动化。 2006 年 IEEE/AIAA 第 25 届数字航空电子系统会议，1-9。 https://doi.org/10.1109/DASC.2006.313772

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