Merit Sensorは、当初からウェーハファブを所有および運営してきました。 独自のMEMS（微小電気機械システム）センシングエレメント、つまりダイを製造することは、他の圧力センサーメーカーとは一線を画すものであり、その多くはファウンドリやサプライヤーからMEMSダイを調達しています。 個々のMEMSセンシング要素にダイシングされた独自のウェーハを製造することで、独自の技術、開発、およびサプライチェーンを制御できます。 利点の詳細については、こちらをお読みください AZoSensorsインタビュー エンジニアリングディレクターと。

これらのMEMSセンシング素子への関心は世界中で続いているため、競争力のあるコストで優れた性能を備えたMEMSダイの開発を続けています。 市場に出回っている最新のMEMS製品は Sシリーズ、最適なサイズ、感度、および安定性を提供します。 おそらく何よりも、熱ヒステリシスに関する優れた性能です。 これらの各特性について、以下で説明します。

サイズ

Sシリーズの注目すべき特徴の1.5つは、1.5 mm x 0.9 mm x150mmという非常に小さなサイズでの確かな性能です。 このサイズにより、各6 mm（XNUMXインチ）ウェーハで生成されるダイの量を最適化することも可能になります。 その結果、優れた性能を損なうことなく、顧客にとって低コストの金型が実現します。

感度

MEMSウェーハの原料であるシリコンは、ピエゾ抵抗特性を持っています。つまり、圧力を加えるとひずみが生じ、それに応じて抵抗が変化します。 出力は、抵抗の変化に基づいています。 メリットセンサーは ホイートストンブリッジ 出力の線形性を最適化するテクノロジー。 ただし、圧力が低いときに適切な出力を得るのは困難です。 それにもかかわらず、Merit Sensor独自のMeritUltraテクノロジーにより、Sシリーズは5 psi / 34 kPa / 345 mbarの100ミリボルト（mV）で標準的な出力を提供します。

安定性

安定した部品は正確なままです。つまり、時間の経過と温度の持続によってドリフトすることはありません。 Sシリーズのデータ​​シートでは、フルスケール出力の±0.2％（％FSO）の長期安定性が指定されています。 下のグラフは、部品がどれほど安定していて正確であるかを示しており、0.05時間で<300％FSOの典型的なオフセットドリフトを示しています。

熱ヒステリシス

ここでも、ここで実際に話している特性は精度です。 Sシリーズは、長期間にわたって正確であり、温度が持続することに加えて、熱サイクルにさらされたときに並外れた精度を示します。 MEMS検知素子は、本質的に温度に敏感です。 温度が変化すると、その抵抗と出力が変化します。 幸い、一貫性のある変更は簡単に補正できます。 Sシリーズのダイは、極端な温度にさらされて室温に戻ったときに、非常に一貫した正確な出力を示します。 熱サイクル試験では、<0.05％FSOの典型的な熱ヒステリシスオフセットが実証されました。

アプリケーションでのSシリーズの使用について質問がある場合は、 contact 私たちのセールスマネージャーの一人。 また、アプリケーションノート「圧力ダイの取り付けの取り扱い" 使える。