En esta entrevista, AZoSensors habla con Scott Sidwell, gerente de ingeniería de Merit Sensor Systems, sobre los sensores de presión piezorresistivos MEMS, las matrices de silicio y cómo se utilizan todos ellos en una variedad de industrias.

¿Podría proporcionarnos información general sobre los sensores de presión y su importancia en diversas industrias?

Los sensores de presión son componentes vitales que desempeñan un papel crucial en diversas industrias. Se prevé que el mercado de sensores de presión experimente un crecimiento notable, como lo indican investigaciones recientes, y se espera que alcance casi 24.5 mil millones de dólares en 2028.

Encuentran aplicaciones en automoción, automatización industrial y control de procesos, productos de consumo como buceo, bicicletas eléctricas y, lo que es más importante, en el campo médico.

Los sensores de presión funcionan según el principio de fuerza de un fluido dividida por área. Para ponerlo en perspectiva, consideremos una jeringa: una más pequeña puede generar más presión que una más grande aplicando la misma fuerza. Comprender este concepto es crucial cuando se trata de sensores de presión.

La presión atmosférica es un término que escuchamos a menudo. ¿Podría explicar qué es y su relevancia en el contexto de los sensores de presión?

La presión atmosférica es esencialmente el peso del aire que nos presiona. A medida que se asciende en un avión o nave espacial, el aire se vuelve menos denso, con menos moléculas y menos oxígeno. Es importante considerar la presión atmosférica al medir la presión en su aplicación, ya que determinará el tipo de sensor de presión necesario.

¿Qué otras aplicaciones además de la industria automovilística se benefician de los sensores de presión y cómo se utilizan?

Los sensores de presión encuentran aplicaciones en un espectro diverso de industrias, expandiéndose mucho más allá de su uso tradicional en el sector automotriz. Uno de los sectores en los que los sensores de presión desempeñan un papel fundamental es la industria del buceo. En este campo, se emplean sensores de presión para monitorear la profundidad de los buceadores bajo el agua, permitiéndoles calcular los tiempos de ascenso y descenso con precisión. El hostil entorno submarino requiere mediciones de presión fiables para garantizar la seguridad de los buceadores.

Los sensores de presión se han abierto camino en el mercado de productos de consumo. Por ejemplo, en el ámbito de las bicicletas, especialmente en la categoría emergente de bicicletas eléctricas, los sensores de presión están integrados en varios componentes. Estos sensores se pueden utilizar en amortiguadores, neumáticos y otras piezas críticas de bicicletas para mejorar el rendimiento general y la experiencia del usuario.

¿Cuáles son las aplicaciones típicas de los sensores de presión piezoresistivos y cómo funcionan?

Los sensores de presión piezoresistivos son un subtipo de sensores de presión conocidos por su versatilidad y uso en diversas aplicaciones. Los sensores piezoresistivos funcionan según un principio que implica un cristal de silicio semiconductor dopado, lo que les permite medir la presión de forma más repetible que otras tecnologías.

Para comprender sus aplicaciones típicas, cabe destacar que los sensores de presión piezorresistivos no están restringidos a un solo campo. Se utilizan en una variedad de industrias, incluido el sector médico. En procedimientos médicos como la angioplastia, donde los cirujanos inflan globos dentro de las arterias, los sensores de presión desempeñan un papel crucial. En estos procedimientos, la salida del sensor de presión ayuda al cirujano a controlar el nivel de inflado dentro del balón y a evaluar el estado general del procedimiento.

¿Puede explicar qué es la tecnología MEMS y sus ventajas en el contexto de los sensores de presión?

MEMS significa Sistemas Microeléctricos-Mecánicos y existen muchos tipos diferentes de MEMS. Los pasos de deposición, implantación de iones y difusión son fundamentales para la fabricación de semiconductores, así como la fotolitografía y el grabado de sensores de presión MEMS. Los sensores de presión MEMS cuentan con un diafragma de silicio elástico, lo que significa que están libres de histéresis y fluencia.

Esta elasticidad beneficia al sensor porque le permite sufrir ciclos de presión repetidos sin alterar sus propiedades. Cuando las cosas tienden a moverse o cambiar, casi siempre es el resultado de cómo están empaquetadas, no necesariamente del chip de silicio en sí. Colocar miles de sensores de presión en una oblea también ayuda significativamente a reducir costos.

Merit Sensor tiene su fábrica de obleas en Utah. Hay muchas ventajas al trabajar con un proveedor que tiene su fábrica de obleas. Cuando se trata de desarrollar un nuevo producto, tener tu propia fábrica de obleas es una gran ventaja, ya que te permite controlar la cadena de suministro. Mantener el diseño interno a menudo se considera la clave para el desarrollo y lanzamiento exitoso de cualquier producto.

¿Puede darnos una comprensión básica del sensor de presión MEMS?

La característica clave del diseño de un sensor de presión MEMS es el puente de Wheatstone difundido en el diafragma de silicio. El cambio en la salida de este puente corresponde a un cambio en la presión aplicada. Cuando un cliente necesita un rango de presión más alto, el sensor requiere un diafragma más grueso para manejar el aumento de presión. Por el contrario, para medir presiones bajas, como pulgadas de agua o pascales bajos, basta con un diafragma delgado.

Tras el proceso de fabricación, el silicio se une a una pieza de vidrio. El vidrio puede tener un orificio para crear un respiradero para diversas aplicaciones de presión, o puede sellarse sin orificio. En este último caso, el vidrio y el silicio se unen al vacío.

Cuando no hay ningún agujero en el vidrio, se le conoce como sensor absoluto porque el espacio entre el silicio y el vidrio representa presión absoluta cero.

Hay dos tipos de sensores absolutos fabricados con matrices MEMS. El tipo tradicional no tiene orificio en el cristal posterior, lo que crea una referencia de vacío sellada para una presión absoluta. Sin embargo, este diseño requiere protección para los circuitos en la parte superior para evitar la corrosión y los cortocircuitos debido a la humedad.

Como alternativa existe el sensor absoluto con presión trasera. En este diseño, se agrega un trozo de vidrio a la parte superior del silicio, creando una referencia de vacío sellada en la parte superior y permitiendo la presión trasera sobre el elemento MEMS. Este tipo se usa comúnmente en aplicaciones automotrices y de alta temperatura, así como con líquidos.

¿Puede contarnos más sobre la presión de compensación y otros factores como la no linealidad de la presión y la histéresis?

La presión de compensación es la medición de presión cero a temperatura ambiente. La no linealidad de la presión mide qué tan lineal o no lineal es la salida del sensor desde la presión cero hasta la presión de escala completa, y la histéresis refleja la diferencia entre el cero inicial y el cero de retorno, cuando se aplica y luego se alivia la presión. El elemento sensor MEMS está diseñado para minimizar estas fuentes de error.

¿Cómo influyen los factores relacionados con la temperatura, como TCR y TCS, en el comportamiento de los sensores de presión?

Es posible utilizar el TCR, el coeficiente de resistencia a la temperatura, junto con la detección de presión para determinar la temperatura, porque el TCR cambia significativamente con la temperatura. Es importante tener en cuenta el coeficiente de temperatura de intervalo/sensibilidad, o TCS, especialmente en aplicaciones para amplios rangos de temperatura de funcionamiento. El TCS es negativo y cuando se utiliza el sensor de presión piezoresistivo MEMS, la sensibilidad o el intervalo disminuyen a medida que aumenta la temperatura.

¿Puede explicar la importancia de la precisión en los sensores de presión y cómo se puede lograr?

La precisión de los sensores de presión a menudo se mide como la banda de error total, que incluye errores relacionados con la temperatura y la presión. Lograr precisión implica calibración, y los sensores totalmente compensados ​​con ASIC integrados simplifican este proceso y brindan mayor precisión. La precisión es vital, especialmente en aplicaciones donde las mediciones precisas son fundamentales.

¿Cómo afectan el estrés y otras influencias externas a los sensores de presión?

Estamos muy orgullosos de comprender y caracterizar las fuentes de error que nuestros clientes no pueden compensar: histéresis térmica y estabilidad a largo plazo. Lo último que nuestros clientes quieren es una falla en sus manos, lo que puede ocurrir debido a problemas de estabilidad a largo plazo.

Es importante tener en cuenta que el elemento sensor MEMS también es un buen sensor de estrés. Por ejemplo, un par o un momento de flexión en el elemento MEMS cambiará la salida del puente de Wheatstone. Se puede inducir estrés durante los procesos de embalaje y ensamblaje, lo que afecta el rendimiento del sensor. Con el tiempo, cualquier tensión relacionada con el paquete se aliviará y volverá al equilibrio. Este alivio de tensión se manifestará como un cambio en la compensación del sensor, en otras palabras, deriva de compensación y estabilidad a largo plazo. La manipulación y el embalaje cuidadosos son esenciales para mantener la estabilidad del sensor.

¿Podría explicar cómo los troqueles MEMS son adecuados para una amplia gama de aplicaciones, tanto específicas como generales, y qué factores deben considerar los clientes al seleccionar un sensor de presión?

Los troqueles MEMS son comunes en aplicaciones de transductores o transmisores de presión donde el troquel MEMS está en un cabezal. El cabezal se suelda a una carcasa de acero inoxidable con un diafragma de acero inoxidable. El acero inoxidable es una excelente opción ya que es muy amigable con los medios y la mayoría de las personas suelen estar muy familiarizadas con las capacidades del acero inoxidable. Este paquete es adecuado para muchas aplicaciones industriales.

Después de soldar el diafragma de acero inoxidable y el paquete, se vuelve a llenar de aceite esta carcasa. Un aceite de silicona limpio rodea la matriz MEMS, transmitiendo presión entre el diafragma de acero inoxidable y el diafragma de silicio del elemento MEMS.

En la industria HVAC, la matriz MEMS se puede comprar por separado o empaquetar en nuestra serie LP y colocar en un tablero de control. Estos tableros de control se encuentran en edificios grandes, ya sea en la cima del edificio cerca de la entrada de aire o en el cuarto de servicio del edificio, donde se ubican los intercambiadores de calor y los sistemas de flujo de aire.

Otra aplicación común es el transporte. Los sensores de presión se utilizan ampliamente en varios tipos de automóviles. Esta área continúa creciendo a medida que la legislación impulsa la demanda de mayor eficiencia y emisiones más limpias.

Para obtener más información, vea el seminario web completo a continuación:

Comprensión de los sensores de presión piezorresistivos MEMS: una mirada cercana a una matriz de silicio en Merit Medical on Vimeo.

 

Sobre el entrevistado

Scott se unió a Merit Sensor en septiembre de 2003. Antes de unirse a Merit Sensor, trabajó en una variedad de funciones de ingeniería con empresas de semiconductores, como ON Semiconductor y Motorola. En su puesto actual, trabaja en estrecha colaboración con los clientes para proporcionar soluciones de detección de presión y soporte técnico.

Scott obtuvo un título en ingeniería química y un MBA de la Universidad Brigham Young. Habla español y le gusta ofrecer su tiempo como voluntario.

En la industria médica, el control de la presión arterial es esencial. Las lecturas se utilizan para evaluar la salud general y diagnosticar enfermedades. La presión arterial alta, también conocida como hipertensión, es un riesgo grave para la salud y también puede ser indicativo de otros problemas de salud.¹

Por lo tanto, los datos de control de la presión arterial precisos y confiables son esenciales para garantizar resultados de salud positivos para los pacientes. El control de la presión arterial no solo es necesario para el uso estándar, sino que es fundamental cuando se trata de controlar el estado de un paciente en línea durante operaciones quirúrgicas críticas.

Oxigenación por membrana extracorpórea (ECMO) es una aplicación médica crucial que requiere un monitoreo en línea preciso. ECMO se usa en ciertos procedimientos quirúrgicos donde las funciones cardíacas y pulmonares del paciente están comprometidas o para pacientes críticamente enfermos.

En una máquina ECMO, la sangre se bombea fuera del cuerpo para eliminar el dióxido de carbono y reoxigenarla antes de devolverla al paciente.²  ECMO es un sustituto factible de la ventilación mecánica, ya que puede reducir el daño pulmonar invocado por la presión positiva utilizada en estos métodos.

El equipo de monitoreo de la presión arterial es esencial cuando se trata de monitorear la condición de un paciente y la máquina ECMO en sí.³ Un nivel saludable típico de presión arterial es tradicionalmente inferior a 120/80 mmHg. Sin embargo, se puede observar que la presión arterial baja desciende hasta 90/60 mmHg.

En aplicaciones como ECMO, los monitores de presión arterial con un rango de lectura extendido pueden ser muy beneficiosos.

Máquina ECMO con sensor de presión de rango extendido de la serie BP.

Sistemas de sensores de mérito

Sistemas de sensores de mérito es una empresa líder en la industria de renombre mundial con experiencia en el diseño y la producción de sensores de presión basados ​​en tecnología piezorresistiva de alta precisión. La empresa ofrece sensores de presión para aplicaciones de control de la presión arterial y una gama de equipos médicos.

Las mediciones de la presión arterial del paciente pueden verse significativamente afectadas por el entorno de reposo. Una forma en que se puede mejorar la calidad de los datos es mediante la medición ambulatoria de la presión arterial, en la que se utilizan dispositivos portátiles para registrar las mediciones de la presión arterial a lo largo del día.⁴

Sensores y conjuntos piezorresistivos MEMS, como el Serie BP, son ideales para aplicaciones portátiles de control de la presión arterial debido al tamaño compacto de su sensor.

Merit Sensor tiene una variedad de sensores disponibles para aplicaciones de monitoreo de presión arterial. Estos incluyen la serie BP, que funciona en rangos de presión normales, y una versión de rango extendido adecuada para aplicaciones como ECMO, donde las mediciones se deben realizar en un amplio rango de -500 a 1000 mmHg.

El BP+T está diseñado para aplicaciones ultracompactas que además miden rangos de temperatura.

Sensores de la serie BP

Sensores de control de la presión arterial de Merit Sensor son ideales para aplicaciones y mediciones de control de presión arterial invasivas, como ECMO.

La configuración estándar de la serie BP BP0001 cubre el rango de presión de -30 a 300 mmHg, proporcionando una señal confiable que no necesita ninguna corrección de temperatura (temperatura de funcionamiento de 15 a 40 °C).

Un sensor ultracompacto con un diseño extremadamente robusto, el sensor es adecuado para lecturas de presión de explosión de hasta 800 psi. Además, cumple con los estándares AAMI BP22 y RoHS.

Los sensores proporcionados por Merit Sensor Systems se pueden integrar fácilmente en una gama de dispositivos médicos, con almohadillas de soldadura estándar que brindan conectividad. El diámetro de sello estándar es de 4.8 mm (BP0001) y un diámetro de sello más pequeño de 3.2 mm (BP0002), lo que minimiza el espacio total del dispositivo.

El pequeño diámetro del sello en los sensores reduce la cantidad de sangre en contacto con el sensor, lo que minimiza el riesgo de coagulación, lo que puede disminuir el flujo sanguíneo general y causar problemas con las lecturas.

Junto al sensor, se utiliza un gel dieléctrico médico compatible con los medios para aplicaciones médicas. La serie BP también incluye un archivo IMDS para una verificación de compatibilidad de medios rápida y sencilla, lo que minimiza el tiempo necesario para desarrollar prototipos de dispositivos.

       

Diámetro de sello estándar de 4.8 mm de la serie BP               Diámetro de sello pequeño de 3.2 mm de la serie BP

Alcance extendido

La configuración extendida de la serie BP proporciona mediciones en el rango de -500-1000 mmHg y puede usarse en aplicaciones como ECMO. El sistema opera en un rango de presión más amplio que la configuración estándar.

Los sensores de monitoreo de presión arterial de Merit Sensor Systems están diseñados para manejar condiciones de alta presión y proporcionar lecturas precisas en todo su rango operativo.

Con una vida útil extendida del producto de hasta tres años, las soluciones que ofrece Merit Sensor Systems extienden la vida útil de los dispositivos médicos y aseguran que los monitores de presión sigan funcionando, ya sea que se usen como soluciones a corto o largo plazo.

Estadísticas de rango de presión extendido de la serie BP

El siguiente gráfico muestra los límites de las especificaciones de sobrepresión para la serie BP extendida entre -500 y 1000 mmHg. Los resultados de la prueba están disponibles en el Informe de sobrepresión/precisión.

El sensor BP + T, que integra mediciones de presión y temperatura en un solo dispositivo, está disponible como opción de actualización. El sensor BP + T es un sensor de medición de flujo de entrada directo que puede monitorear la presión y la temperatura en una sola ubicación.

La lectura de temperatura es directamente proporcional a la lectura óhmica del termistor incorporado, que está recubierto con una sustancia compatible con los medios. Dos pads adicionales proporcionan la conexión eléctrica de medición de temperatura (Kelvin-Point).

El sensor BP + T también es geométricamente compatible con el BP0001 y las configuraciones generales de la serie BP. Los archivos del modelo 3D están disponibles para la verificación de esta capacidad de integración.

Serie de presión arterial + temperatura

Aplicaciones

Los dispositivos de Merit Sensor se utilizan actualmente en varias terapias novedosas de apoyo pulmonar y sensores de presión arterial como parte de sistemas de apoyo cardiopulmonar de respuesta de emergencia ligeros y portátiles.

Los sensores de presión arterial de Merit Sensor Systems son de alta calidad y pueden manejar los picos de presión que se encuentran en las aplicaciones ECMO. Además, los sensores son rentables, incluso para dispositivos médicos desechables.

Sensor de mérito de contacto para averiguar cuál de sus sensores de presión es la mejor opción para su aplicación de control de la presión arterial y cómo beneficiarse de su experiencia técnica y soporte.

Los sensores robustos y confiables de Merit Sensor ofrecen a los expertos clínicos la más alta garantía de calidad para aplicaciones médicas.

Referencias y lecturas adicionales

1. Elliott, WJ (2003). El impacto económico de la hipertensión. El diario de la hipertensión clínica, 5 (3), 3 – 13. https://doi.org/10.1111/j.1524-6175.2003.02463.x
2. Patel, AR, Patel, AR, Singh, S., Singh, S. y Khawaja, I. (2019). Usos aplicados de la terapia de oxigenación por membrana extracorpórea Diferentes modos de terapia ECMO. Cureus, 11 (7), e5163. https://doi.org/10.7759/cureus.5163
3. Mossadegh, C. (2017). Monitorización del ECMO. En: Mossadegh, C., Combes, A. (eds) Nursing Care and ECMO. Springer, Cham. https://doi.org/10.1007/978-3-319-20101-6_5
4. Turner, JR, Viera, AJ y Shimbo, D. (2015). Monitoreo ambulatorio de la presión arterial en la práctica clínica: una revisión. The American Journal of Medicine, 128(1), 14–20. https://doi.org/10.1016/j.amjmed.2014.07.021

Como parte del aumento de la automatización y los desarrollos de la Industria 4.0, los robots tenían que volverse 'más inteligentes'.¹ En cuanto a la automatización, los robots más inteligentes son aquellos con sensores más avanzados que tienen la capacidad de integrarse con sistemas de análisis y retroalimentación de datos.

Uno de los tipos de robots más comunes en la industria son los brazos robóticos. Tienen muchos usos, desde levantar y mover objetos hasta procesos de fabricación y soldadura de alta precisión.

Como robot articulado, el brazo robótico se puede diseñar con un rango de movimiento que se adapte a su tarea designada, lo que le permite realizar cualquier movimiento requerido.

Brazos robóticos proporcionan ahorros de eficiencia significativos debido a su capacidad de moverse mucho más rápido que sus equivalentes humanos. También mantienen una alta precisión en numerosas tareas repetitivas que están involucradas en los procesos de fabricación. Para algunas tareas, es factible simplemente instalar y programar un brazo robótico para realizar la función deseada.

Sin embargo, para tareas alternativas en las que el brazo robótico se usa junto con la visión artificial o una automatización más avanzada, se requiere que el robot sea capaz de reaccionar y comprender los cambios en el entorno circundante.

Una forma de ayudar a un robot a comprender el mundo que lo rodea y permitirle reaccionar a las tareas de una manera que no requiera simplemente parámetros preprogramados y codificados, es la utilización de sensores de presión.

Los avances en sensores basados ​​en transductores para robots han permitido la creación de manos robóticas articuladas altamente sofisticadas que pueden sostener objetos delicados.² La información del sensor se comunica a los actuadores para evitar el uso de fuerza excesiva.

Transductor de presión

Lograr un movimiento cada vez más complejo y grados de automatización exige que se utilicen aún más sensores. Una mano o brazo robótico altamente articulado requiere un conjunto completo de sensores, y consideraciones tales como el tamaño del sensor se vuelven críticas para la aplicación.

La precisión y la exactitud de los sensores también se vuelven cada vez más importantes cuando las redes de sensores complejas proporcionan sistemas de retroalimentación para el robot.

Si algún sensor dentro de la red comienza a comportarse mal, el movimiento robótico resultante será incorrecto y podría causar movimientos problemáticos para la articulación del robot o roturas accidentales.

Además de los mayores grados de automatización y la utilización de datos en los procesos de fabricación, otro aspecto del desarrollo de la Industria 4.0 es un mayor énfasis en la sostenibilidad.

Los brazos robóticos móviles deben mantener el consumo de energía al mínimo para prolongar la vida útil de funcionamiento entre cargas. La evitación de un gran consumo de energía en los sensores también ayuda a minimizar los costos de operación del robot y a disminuir el exceso de consumo de energía.

Monitoreo de presión

Una de las tareas más genéricas de un brazo robótico es sujetar y recoger objetos, algunos de los cuales pueden romperse. Un actuador neumático convierte la energía, generalmente del aire comprimido, en movimiento, y dichos actuadores constituyen la base de muchos robots móviles.

El ejercicio de la cantidad adecuada de fuerza sobre un objeto implica un control cuidadoso del volumen de aire comprimido suministrado al actuador. Esto generalmente se logra midiendo la presión de vacío dentro de la región evacuada, y sensores de presión son el sistema perfecto para esto.

Además de la fuerza inicial aplicada para recoger el objeto con el actuador, se pueden utilizar sensores de presión para monitorear continuamente la presión de vacío durante la sujeción para garantizar que se mantenga un nivel constante de fuerza.

Se requiere que los sensores de presión en los actuadores neumáticos tengan un tiempo de respuesta rápido a los cambios repentinos de presión, especialmente para los robots donde los movimientos físicos deben ser rápidos. Los sensores también deben ser muy sensibles y tener la capacidad de medir en el rango de presión de vacío.

Sistemas de sensores de mérito

Las ventajas de los sensores de presión en los brazos robóticos son evidentes cuando se crean robots de respuesta dinámica que son capaces de realizar una gama más amplia de tareas más sofisticadas. El desafío es encontrar el sensor de presión correcto para la tarea.

Merit Sensor Systems es un experto en lo que respecta al desarrollo de sensores de presión piezorresistivos MEMS y proporciona una variedad de diferentes sensores compactos de bajo consumo de energía.

Merit Sensors tiene la serie CMS, que es un paquete de sensor de presión totalmente compensado para robótica inteligente.

Basado en un sensor de presión piezorresistivo con un ASIC para calibrar y compensar la temperatura y la no linealidad, la serie CMS son sensores muy compactos creados para proporcionar lecturas de presión muy estables y a largo plazo.

Serie CMS

Con un tamaño de solo 6.8 mm x 6.8 mm, el Serie CMS facilita la integración de numerosos sensores en sistemas de robots neumáticos.

el yo digital²Las opciones de salida C y SPI permiten que los sensores CMS se integren fácilmente en sistemas de retroalimentación inteligentes y hagan robótica receptiva. Cuando se requieren múltiples sensores para una aplicación, Merit Sensor también puede crear otros I²C direcciones bajo petición.

La incorporación del propietario Sentium^® La tecnología hace que el rendimiento de la Serie CMS sea único. Esta tecnología ayuda a estos sensores a lograr su amplio rango de temperatura compensada (0 a 50 °C o -15 a 85 °C) con la mejor estabilidad de su clase.

La serie CMS son sensores extremadamente diversos con un amplio rango de presión operativa de 2 a 150 PSI, con presiones de ruptura de 2 a 100 veces la presión operativa máxima.

Para la robótica neumática, esta gama, combinada con la alta precisión y estabilidad, significa que es posible crear robots capaces de realizar las tareas de elevación más delicadas, así como operaciones más pesadas.

También se ofrecen opciones absolutas y de calibre si es necesario, además de las funciones de autocero y promedio de salida, lo que hace que la serie CMS sea aún más fácil de usar e integrar en cualquier sistema.

Las conexiones eléctricas son pads de soldadura SMD con un espaciado estándar de 1.27 mm y los productos CMS son compatibles con un rango de tensión de alimentación de 2.7 a 5.5 V. Los dispositivos pueden funcionar en un modo de bajo consumo para maximizar la eficiencia energética.

Todos los productos CMS cumplen con RoHS, con la confiabilidad y precisión de estos sensores respaldados por un puente piezorresistivo de Wheatstone que está diseñado para unir anódicamente el vidrio a un diafragma de silicio grabado químicamente.

Comuníquese con Merit Sensor Systems hoy para descubrir cómo la serie CMS podría mejorar el rendimiento y la precisión de sus robots neumáticos y la eficiencia general de sus sistemas.

Referencias

1. Sartal, A., Bellas, R., Mejías, AM, & García-Collado, A. (2020). El concepto de fabricación sostenible, evolución y oportunidades dentro de la Industria 4.0: una revisión de la literatura. Avances en Ingeniería Mecánica, 12(5). https://doi.org/10.1177/1687814020925232
2. Girão, PS, Ramos, PMP, Postolache, O., & Miguel Dias Pereira, J. (2013). Sensores táctiles para aplicaciones robóticas. Medición: Revista de la Confederación Internacional de Medición, 46(3), pp. 1257–1271. https://doi.org/10.1016/j.measurement.2012.11.015

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